關于Gener系列

AS/AR Vacuum Coater

此真空鍍膜機是鍍制防污膜(AS膜)及防反射膜+防污膜(AS+AS膜)的大型光學鍍膜機, 應用于智慧手機等所配的觸摸屏。

特征
磁密封驅(qū)動的基板旋轉(zhuǎn)方式可得到穩(wěn)定和均勻的膜厚分布
配備RF離子源以提高膜的耐摩擦性。(*已通過4萬次以上摩擦試驗*)
* 根據(jù)摩擦試驗的規(guī)格,摩擦的次數(shù)有所不同。
防污膜(AS 膜)批量生產(chǎn)。
規(guī)格
真空室 Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm,5片式
基板架轉(zhuǎn)速 20rpm
晶振式膜厚計 6點式水晶傳感器
蒸發(fā) 電子槍1臺,熱阻蒸1臺
離子源 RF離子源
性能
達到壓力 7.0E-5Pa 以下
排氣時間 15分以下(大氣壓~2.0×10-3 Pa)
工作條件
設備尺寸 約6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量 220升/分以上
空氣壓力 0.5 - 0.7 MPa
重量 約12000kg