光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
HOM1-1
高精度光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
用于DWDM成膜用真空鍍膜系統(tǒng)的膜厚控制。
- 特征
- 高NA值光學(xué)系統(tǒng)和低噪音電路設(shè)計,實現(xiàn)低噪音,相對值達(dá)到 +0.01%
- 應(yīng)用高分解能分光光學(xué)系,波長分解能達(dá)到0.08nm(1550nm)
- 使用鹵素?zé)艄庠?,使用波長范圍1100nm-1700nm
- 運(yùn)用先進(jìn)的成膜計算控制技術(shù),光透過率的極值監(jiān)控能力可達(dá)+0.01%
- 規(guī)格
- 型號 HOM1-1
- 波長帶域 1100nm - 1700nm
- 波長分解能 0.08nm
- 光亮設(shè)定分解能 0.001%
- 光源 鹵素?zé)?/span>
- 電源 AC100V±10%, 50/60Hz
- 消費(fèi)電力 600VA